White Paper: Die Automotive-SiC-Technologie von Bosch

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Die Roadmaps für die SiC-Technologie von Bosch in den Klassen 750 V und 1.200 V sehen alle 2 bis 2,5 Jahre eine neue Generation vor, die jeweils deutliche Verbesserungen bei den wichtigsten Leistungsindikatoren bringt. © Bosch

Wie der Titel „Einblicke in die Siliziumkarbid (SiC)-Halbleitertechnologie von Bosch“ deutlich macht, geht es in dem insgesamt 21 Seiten umfassenden Text um die SiC-Technologie des Tier 1.

Die ersten Kapitel geben einen Überblick über die Positionierung von Bosch als „Integrated Device Manufacturer“ (IDM) von Silizium-MOS-FETs und SiC-Leistungshalbleitern. Dabei wird auch auf die Positionierung in China eingegangen. Ein eigenes Kapitel widmet sich dem globalen Fertigungs- und Partnernetzwerk des Unternehmens.

Den Hauptteil des Textes bilden detaillierte Informationen zur SiC-Roadmap und zur Zweikanal-Trench-SiC-Technologie sowie zu den von Bosch verwendeten SiC-Substraten. Ein eigener kleiner Abschnitt ist der Umstellung von 150 mm Wafern auf 200 mm Wafer gewidmet (Stand Mai 2025: Musterfertigung entsprechender SiC-Trench-MOSFETs ist angelaufen).

Der Beitrag schließt mit Informationen zum SiC-Portfolio von Bosch (SiC-Bare-Dies, diskrete SiC-Bauelemente, SiC-Module) sowie zu einigen öffentlich geförderten SiC-Technologieprojekten.

Während der Text für technische Anfänger geeignet ist, erfordern viele der Abbildungen ein tieferes technisches Verständnis. (jr)

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