Neuigkeiten aus Forschung&Entwicklung
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Technologie-Radar
Imec erzeugt Logik- und DRAM-Strukturen mit High NA EUV-Lithographie
Die Imec-Ergebnisse bestätigen, dass das High NA EUV-Strukturierungssystem für zukünftige Logik- und Speicheranwendungen geeignet ist.
