Applied Materials und das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) gaben heute die Zusammenarbeit bei der Gründung eines der größten Technologiezentren für Halbleitermetrologie und Prozessanalyse in Europa bekannt. Das Technologiezentrum, welches am Center Nanoelectronic Technologies (CNT) des Fraunhofer IPMS in Dresden angesiedelt sein wird, wird mit hochmodernen eBeam-Metrologiegeräten von Applied Materials ausgestattet, einschließlich des VeritySEM CD-SEM-Systems (einem Rasterelektronenmikroskop für kritische Dimensionen), und von Ingenieuren und F&E-Experten von Applied Materials betreut werden.
Der gemeinsame Metrologie-Hub soll die Lernzyklen und die Entwicklung neuer Anwendungen für das Fraunhofer Institut, Applied Materials und deren Kunden und Partner in Europa beschleunigen.
Das Kompetenzzentrum wird in der Lage sein, Prozesse auf einer Vielzahl von Substratmaterialien und Waferdicken zu testen und zu qualifizieren, die für Anwendungen in der vielfältigen europäischen Halbleiterlandschaft entscheidend sind – Internet of things, Communications, Automotive, Power & Sensors (ICAPS). (jr)
