Skalierungsbooster

Imec hat einen Semi-Damascene-Integrationsansatz zur Implementierung des vertikal-horizontal-vertikalen (VHV) Skalierungsboosters vorgestellt, der 4-Spur-Standardzellen ermöglichen soll. Der Prozess ermöglicht eine Skalierung der Zellgrenzen auf bis zu 8 nm Tip-to-Tip in den MOL-Schichten und bietet selbstausrichtende Kanten.