Neues Lithografieverfahren ermöglicht Strukturen mit Auflösung von 5 nm
Forschende des Paul Scherrer Instituts PSI nutzen indirekte Belichtung und haben so die Standard-EUV-Lithografie weiterentwickelt. […]
Forschende des Paul Scherrer Instituts PSI nutzen indirekte Belichtung und haben so die Standard-EUV-Lithografie weiterentwickelt. […]
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